Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников
Луфт Б.Д., Перевощиков В.А., Возмилова Л.Н., Свердлин И.А., Марин К.Г.
М.: Радио и связь, 1982. — 137 с.Изложены основы различных химических и физико-химических методов обработки поверхности полупроводников. Описаны методы химико-механического, химико-динамического, электрохимического, фотохимического, фотоэлектрохимического и плазмохимического травления и полирования монокристаллических подложек из кремния, германия и соединений AIIIBV, а также химические и электрохимические методики локального травления полупроводников, препарирования кристаллов и эпитаксиальных структур. Систематизированы методы межоперационной и финишной очистки полупроводников от различных загрязнений.
Для инженеров-технологов, занимающихся разработкой и производством полупроводниковых микроприборов и интегральных микросхем.
Для инженеров-технологов, занимающихся разработкой и производством полупроводниковых микроприборов и интегральных микросхем.
Կատեգորիաներ:
Լեզու:
russian
ISBN 10:
2403000000
ISBN 13:
9782403000009
Ֆայլ:
PDF, 5.45 MB
IPFS:
,
russian0